台媒:台积电现已采购35台EUV光刻机,占ASML过半产量

时间:2020-12-02 14:15:07 采编:wangshuaigang 阅读:

  12月2日消息据中国台湾经济日报报道,EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星,双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前,取得 ASML 下一代 EUV 设备供应。

  业内人士分析称,三星积极追赶台积电,不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。7nm 制程方面,台积电先推出 FinFet 架构的 7nm 技术,再推出使用 EUV 的 N7 + 制程。5nm 方面,三星与台积电仍有二成产能的差距。

  

  台媒指出,供应链透露,台积电目前已采购 35 台 EUV 设备,占 ASML 过半产量,2021 年底采购总量将超过 50 台。相较之下,三星 EUV 设备采购量目前不到 20 台。

  台媒 DigiTimes 今年 9 月曾表示,台积电加速先进制程推进,累计 EUV 光刻机至 2021 年底将超过 50 台。相较之下,三星电子 2021 年还不到 25 台,同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。

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